對(duì)無塵室的空氣質(zhì)量以及溫濕度控制是無塵室設(shè)計(jì)與維護(hù)的重要性，這里小編為您簡(jiǎn)單的介紹下無塵室控制的一般原理及溫濕度控制的基本要求。

1.空氣過濾原理
無塵室里的空氣是靠進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)將氣流“活塞”般的擠壓進(jìn)入，氣流則是通過初效過濾器，然后再經(jīng)中效過濾器，然后經(jīng)過超高效過濾器，最后把潔凈空氣傳入無塵室，使無塵室中的空氣塵粒迅速達(dá)到相應(yīng)的無塵室標(biāo)準(zhǔn)要求，并且同時(shí)把無塵室內(nèi)污染排出。為了考慮節(jié)能，排出的污染空氣會(huì)經(jīng)過回風(fēng)后，再次經(jīng)過超高效過濾器而重新傳入無塵室。
2.溫濕度要求
無塵室空氣溫濕度的要求由以下綜合確定：
 (1)對(duì)人的舒適性，以人穿著不同潔凈服的情況下充分發(fā)揮了工作效率，一般的溫度需要21OC~24OC才會(huì)比較適宜，若潔凈服的要求比較嚴(yán)，那么則20OC~22OC，波動(dòng)<1.5OC，濕度30%~70%;
 (2)工藝的要求;
 (3)經(jīng)濟(jì)性，溫濕度及相對(duì)濕度夏天越低，冬天越高，則空氣處理能耗越大。
當(dāng)前微電子工廠無塵室對(duì)溫濕度的參數(shù)大致范圍是：溫度為24OC+/-1~2OC，要求嚴(yán)的為22OC+/-0.3~0.5OC。濕度為45%+/-5%~10%,要求嚴(yán)的為43%+/-3%。要求全年維持。